（一）1-1共焦顯微拉曼光譜儀（核心產(chǎn)品）

1.功能要求:可實(shí)現(xiàn)顯微共聚焦拉曼-熒光-白光反射吸收光譜及二維三維成像。

2.激發(fā)波長

★2.1 532nm激發(fā)波長：532 nm TEM00單頻固體激光器，功率≥30 mW，拉曼低波數(shù)≤90 cm^-1

★2.2 633nm激發(fā)波長：633nm TEM00單頻固體激光器，功率≥30 mW，拉曼低波數(shù)≤80 cm^-1

▲2.3 532nm、633nm激發(fā)光路內(nèi)置激光功率計(jì)，拉曼原裝軟件實(shí)時(shí)顯示打到樣品表面功率或計(jì)算機(jī)控制激光多級(jí)衰減片≥25級(jí)；

▲2.4 拉曼原裝軟件端控制激光功率≤0.1mW步徑連續(xù)調(diào)節(jié)或各個(gè)波長均配有激光擴(kuò)束器，使激光光斑尺寸在焦平面上連續(xù)可調(diào)，并能連續(xù)改變到樣品上的激光功率密度；

★2.5 儀器可升級(jí)到244nm、266nm、325nm、785nm等更多激發(fā)波長，實(shí)現(xiàn)266nm、785nm拉曼成像測試。

▲2.6 光譜儀焦長≤300 毫米

▲2.7 光譜儀內(nèi)同時(shí)內(nèi)置≥3塊光柵（150刻線、600刻線、1800刻線），無需手動(dòng)更換光柵即可實(shí)現(xiàn)≥3塊光柵軟件控制自動(dòng)切換或者光柵使用150（UV or Vis）、300（Vis）、600（Vis or NIR）、830（NIR）、1200（NIR）、1800（Vis）、2400（UV or Vis）刻線/毫米高分辨率光柵，并能軟件控制自動(dòng)轉(zhuǎn)換。

3.光譜儀與檢測器系統(tǒng):

★3.1 光譜分辨率：≤1.5 cm^-1@585nm譜線的全半高寬（驗(yàn)收標(biāo)準(zhǔn)：采用≤1800刻線光柵，針孔或狹縫≥50um，一次性連續(xù)測量UV-VIS-NIR全光譜范圍）

★3.2 光譜重復(fù)性：≤±0.02 cm^-1（驗(yàn)收標(biāo)準(zhǔn)：使用單晶硅，采用532 nm激發(fā)及100x物鏡，重復(fù)50次，觀察的硅520 cm^-1拉曼峰位可重復(fù)性）

★3.3 共聚焦高靈敏度：清晰觀察到硅的四階拉曼峰，其中硅的三階拉曼峰（1436～1444 cm^-1）信噪比≥25:1，N₂和O₂拉曼峰不高于硅的四階拉曼峰高度（驗(yàn)收標(biāo)準(zhǔn)：針孔或狹縫≤50微米, 激光波長532 nm，激光功率≤10.0mW，積分時(shí)間60秒，累積5次，顯微鏡鏡頭為50x或100x）;

▲3.4 光譜檢測器：像素尺寸≥2000×256 pixels，峰值量子效率≥55%。

4.共聚焦拉曼/熒光成像：

4.1真實(shí)針孔共聚焦系統(tǒng)：為保證系統(tǒng)時(shí)刻處于共聚焦?fàn)顟B(tài)，要求系統(tǒng)采用光纖針孔共聚焦，而非狹縫式的贗共聚焦或數(shù)字化虛擬針孔或機(jī)械針孔共聚焦；

4.2實(shí)時(shí)參數(shù)優(yōu)化：調(diào)節(jié)參數(shù)時(shí)，可快速（積分時(shí)間≤0.01 s）實(shí)時(shí)顯示監(jiān)測拉曼光譜，優(yōu)化實(shí)驗(yàn)參數(shù)，無需重復(fù)測試。

▲4.3 快速成像：全光譜成像，光柵不轉(zhuǎn)，單窗口可覆蓋100-4000 cm^-1大光譜范圍采集，要求采集時(shí)間≤10毫秒

★4.4 拉曼成像橫向光學(xué)分辨率：≤ 350 nm @ 532 nm

（驗(yàn)收標(biāo)準(zhǔn): 以直徑不超過50nm的一維納米材料為樣品(不接受光柵樣品), 使用100倍干物鏡和共聚焦孔≥50 um，以100 nm為步長沿垂直納米材料方向做拉曼線掃描, 獲得納米材料拉曼強(qiáng)度的空間分布曲線，其強(qiáng)度變化曲線的半峰寬即為拉曼成像橫向光學(xué)分辨率）

★4.5 拉曼成像縱向光學(xué)分辨率：≤ 900 nm@532 nm

（驗(yàn)收標(biāo)準(zhǔn): 以Si為樣品, 以50 nm為步長沿Z軸方向做拉曼線掃描, 使用100倍干物鏡和共聚焦孔≥50 um，獲得Si峰拉曼強(qiáng)度的空間分布曲線為高斯對(duì)稱曲線，其強(qiáng)度變化曲線的半峰寬即為拉曼成像縱向光學(xué)分辨率。）

5.研究級(jí)共聚焦光學(xué)顯微鏡：

★5.1 開放式顯微鏡，Z方向移動(dòng)范圍≥ 30 mm, Z步長≤10nm，樣品臺(tái)可承重≥5kg，可放置各種高度和重量的原位池實(shí)現(xiàn)原位測試；

5.2三電極及兩電極原位拉曼測試池：焦距≥8mm、池體尺寸≥直徑Φ46*15mm；

5.3全自動(dòng)機(jī)械平臺(tái)：XY移動(dòng)范圍≥50*50mm，XY步長≤25 nm；

5.4光學(xué)顯微鏡配置科勒照明及透射照明方式

▲5.5通過調(diào)節(jié)物鏡高低聚焦樣品，無需調(diào)節(jié)樣品臺(tái)，保證穩(wěn)定性；配置≥0.8*0.8m光學(xué)防震平臺(tái)1個(gè)；配置≥27寸顯示器1個(gè)

▲5.6全自動(dòng)光闌開關(guān)，可一鍵式快速聚焦樣品表面進(jìn)行拉曼測試

5.7光學(xué)圖片拼接功能，可實(shí)現(xiàn)長≥5cm，寬≥5cm白光圖片拼接

5.8一鍵式導(dǎo)航定位功能，在白光圖點(diǎn)擊任意位置即可一鍵式定位到目標(biāo)點(diǎn)

5.9景深合成功能，可將粗糙不平樣品的不同聚焦平面的白光圖進(jìn)行合成，生成全景深的二維清晰圖像

▲5.10可采集微區(qū)白光反射光譜, 白光光譜橫向空間分辨率：≤ 400 nm（驗(yàn)收標(biāo)準(zhǔn): 單層石墨烯樣品，以50 nm為步長沿垂直邊緣方向做白光反射譜的線掃描, 獲得反射譜強(qiáng)度的空間分布曲線，其強(qiáng)度變化的帶邊寬即為白光橫向光學(xué)空間分辨率。）

5.11配備物鏡：10倍物鏡；50倍物鏡；100倍物鏡（NA≥0.9，工作距離≥1mm）和50倍長焦物鏡；

5.12可升級(jí)原子力聯(lián)用，將原子力顯微鏡集成在共聚焦拉曼顯微鏡主機(jī)上，直接切換鏡頭即可實(shí)現(xiàn)聯(lián)用，無需移動(dòng)樣品。

6.數(shù)據(jù)庫軟件

6.1自帶高分子材料、礦物、半導(dǎo)體材料等數(shù)據(jù)庫佐證≥4000條。

6.2可導(dǎo)入第三方開源數(shù)據(jù)庫或第三方商品數(shù)據(jù)庫

6.3可自定義數(shù)據(jù)庫

7.坐標(biāo)系導(dǎo)航共定位聯(lián)用功能

7.1兩臺(tái)儀器無需剛性耦合，無需特殊標(biāo)記樣品臺(tái)耗材，即可實(shí)現(xiàn)共定位測試。

7.2可以跨空間、跨時(shí)間實(shí)現(xiàn)共定位測試。

7.3成像疊加：配置成像疊加軟件，不同測試方式的成像結(jié)果可疊加顯示。

8.高級(jí)數(shù)據(jù)處理軟件

8.1包括多變量分析功能，PCA，NMF和團(tuán)簇分析等功能

8.2可以處理2D和3D數(shù)據(jù)功能

8.3具有聚類分析，主成分分析等高級(jí)數(shù)學(xué)算法

9.計(jì)算機(jī)

9.1高性能計(jì)算機(jī)1臺(tái)，不低于32GB內(nèi)存，1000GB硬盤，DVD-RW刻錄機(jī)，100M網(wǎng)卡，正版Windows 10 Pro位操作系統(tǒng)，至少27 ”LCD顯示器，可觀察和存儲(chǔ)顯微鏡下的白光像.

9.2光譜專業(yè)軟件-包括儀器控制，拉曼/熒光/光電流數(shù)據(jù)采集、計(jì)算和處理及曲線擬合, 快速生成拉曼圖像及圖像計(jì)算,化學(xué)成分分析等各項(xiàng)功能；

★9.3提供離線數(shù)據(jù)分析軟件，不限套數(shù)

（二）1-2 樣品電磁波能量測試單元1套

★1.1 頻率范圍：至少覆蓋9kHz至20 GHz；頻率分辨率：≤1Hz；

1.2端口數(shù)量：不少于2個(gè)；頻率精度：± 1 ppm；

1.3最大動(dòng)態(tài)范圍：≥124dB；最大輸出功率：≥+10 dBm；

★1.4 功率范圍:至少覆蓋 -60dBm to +10dbm；

★1.5 幅度跡線噪聲： 10 MHz to 6 GHz ?≤0.0005dBrms

6 GHz to 10 GHz ? ≤0.0006 dBrms

10 GHz to 20 GHz ?≤0.001 dBrms

★1.6 相位跡線噪聲：300 kHz to 6 GHz ? ≤0.003 °rms

6 GHz to 10 GHz ? ? ≤0.006 °rms

10 GHz to 13.5 GHz ? ≤0.006 °rms

1 3.5 GHz to 20 GHz ? ?≤0.01 °rms

1.7溫度穩(wěn)定度：幅度：± 0.005 dB/°C，相位 ± 0.10°/°C；測試端口噪聲：不高于-114 dBm；

1.8可升級(jí)具有自動(dòng)夾具去除功能；可升級(jí)具有高溫測試（室溫～1200℃）功能

1.9可升級(jí)具有時(shí)域分析功能和TDR測試功能；

★1.10主機(jī)具備Thunderbolt雷電3級(jí)別以上接口，配備含Thunderbolt雷電3級(jí)別以上接口的測試筆記本，不低于32GB內(nèi)存，1000GB硬盤，正版Windows 11操作系統(tǒng)；

1.11配備介電常數(shù)測試軟件，傳輸線法測試可測試介電常數(shù)，磁導(dǎo)率，S參數(shù)，損耗角正切，阻抗；

1.12配備DC-18GHz同軸空氣線套件；

1.13配備DC-20GHz校準(zhǔn)件；配備DC-18GHz原廠射頻線纜兩根；配備電子加密狗2個(gè)；

（三）1-3 樣品噴碳制備單元1套

★1.1采用低溫增強(qiáng)等離子磁控管設(shè)計(jì)，利用低壓低電流直流磁控冷濺射，濺射鍍膜電流：覆蓋范圍≥1-80mA，連續(xù)可調(diào)，調(diào)節(jié)步徑≤1 mA；

★1.2可設(shè)定鍍膜時(shí)間范圍：覆蓋≥1-3600秒，連續(xù)可調(diào)，調(diào)節(jié)步徑≤1秒；

1.3濺射工作真空范圍：覆蓋≥7 x 10^-3 到5 x 10^-1mbar；

★1.4具備一體化鍍碳模塊；

1.5鍍碳蒸發(fā)電流范圍不小于1～70A；

★1.6具備脈沖清潔功能，能夠?qū)崿F(xiàn)鋁金屬及各類易氧化金屬鍍膜；

★1.7鍍膜腔室：采用可方便清潔圓柱形腔室，可整體拆卸，并配備防爆塑料保護(hù)裝置及鍍膜擋板，標(biāo)準(zhǔn)工作腔室尺寸：內(nèi)徑≥150mm，高≥214mm；

1.8樣品臺(tái)：配備直徑≥50mm六孔旋轉(zhuǎn)樣品臺(tái)，轉(zhuǎn)速調(diào)節(jié)范圍≥10-20rpm，工作距離調(diào)節(jié)范圍≥38-70mm，保證均勻性；

1.9采用電容式觸摸屏控制，配備雙核ARM處理器及不低于16GB的閃存，可儲(chǔ)存和調(diào)用≥1000條鍍膜程序及≥1000條以膜記錄；

★1.10配備真空互鎖裝置，真空無法達(dá)到自動(dòng)切斷鍍膜源的電源，確保用戶在放樣取樣時(shí)安全，具備過熱保護(hù)功能，溫度過熱自動(dòng)關(guān)閉電源。

★配置要求：

1)拉曼光譜儀主機(jī)：1套（含高性能計(jì)算機(jī)1臺(tái)）

2)研究級(jí)共聚焦光學(xué)顯微鏡：1套

3)10×物鏡、50×物鏡、100×物鏡、50×長焦物鏡：各1個(gè)

4)透射照明附件：1套

5)景深合成：1套

6)633nm單頻固體激光器及對(duì)應(yīng)光學(xué)元件：1套

7)532nm單頻固體激光器及對(duì)應(yīng)光學(xué)元件：1套

8)激光功率數(shù)字化控制系統(tǒng) ：2套

9)光譜儀（內(nèi)置≥3塊光柵）:1套

10)光譜檢測器：1套

11)數(shù)據(jù)庫軟件：1套

12)高級(jí)數(shù)據(jù)處理軟件：1套

13)離線數(shù)據(jù)分析軟件：不限套數(shù)

14)控制器及配套軟件：1套

15)樣品電磁能量測試單元：測試主機(jī)1套（含Thunderbolt雷電3級(jí)別以上接口的測試筆記本1臺(tái)、電常數(shù)測試軟件、DC-18GHz同軸空氣線套件、DC-20GHz校準(zhǔn)件、DC-18GHz射頻線纜兩根、電子加密狗2個(gè)）；

16)樣品噴碳制樣單元：多功能鍍金鍍碳一體機(jī)1套（含雙級(jí)旋轉(zhuǎn)機(jī)械泵1個(gè)、碳絲鍍碳頭1個(gè)、六孔旋轉(zhuǎn)樣品臺(tái)1個(gè)、金屬鍍膜濺射頭1個(gè)、金靶1個(gè)、標(biāo)準(zhǔn)等級(jí)碳絲3個(gè)）；

17)其他配套 ：≥0.8*0.8m光學(xué)防震平臺(tái)1個(gè)；≥27寸顯示器1個(gè)