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技術(shù)規(guī)格及參數(shù)
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1、參數(shù)分析儀主機(jī)
(1)可支持9個(gè)功能模塊插槽。
(2)可支持6個(gè)雙通道PMU模塊。
(3)提供軟件包: 軟件具有450多個(gè)應(yīng)用測試庫。用戶界面提供觸滑或點(diǎn)擊控制功能，能為現(xiàn)代半導(dǎo)體、材料和工藝表征提供高級(jí)測試定義、參數(shù)分析、圖表繪制和自動(dòng)化功能。
(4)內(nèi)置接地單元：提供雙三同軸輸出端接口、5路接線柱。最大電流：使用雙三同軸連接時(shí)為2.6A；使用5路接線柱時(shí)為9.5A。
(5)15.6英寸觸摸屏高清顯示器(1920x1080) 。
(6)接口：USB,VGA,HDMI,RS-232,以太網(wǎng)。
(7)內(nèi)置測量視頻：測試視頻由全球應(yīng)用工程師提供，分為4 種語言
2、高功率源測量單元 2個(gè)
(1)功率：21W
(2)電流測量量程：8個(gè)量程,1A,100mA,10mA,1mA,100μA,10μA,1uA,100nA
(3)電流測量最小分辨率：100fA
(4)電壓測量量程：4個(gè)量程，200V,20V,2V,200mV
(5)電壓測量最小分辨率：0.2uV
(6)電流源量程：8個(gè)量程，1A,100mA,10mA,1mA,100μA,10μA,1uA,100nA
(7)電流源最小分辨率：5pA
(8)電壓源量程：4個(gè)量程，200V,20V,2V,200mV
(9)電壓源最小分辨率：5uV
(10)輸入阻抗：＞10^13Ω
(11)測量接口：每個(gè)SMU上三個(gè)迷你三同軸(母頭)接口，用于Force、Sense 和Sense Lo，一個(gè)定制15針D-Sub(母頭)接口
3、遠(yuǎn)程前端放大器模塊1個(gè)
(1)功能：可擴(kuò)展任意SMU型號(hào)的電流范圍，擴(kuò)展SMU提供5個(gè)小量程10nA,1nA,100pA,10pA,1pA，最小分辨率:10aA。
(2)輸入接口：一個(gè)定制接口，15 針，D-Sub (公頭)
(3)輸出接口：兩個(gè)三同軸接口(母頭)
4、C-V多頻率電容單元，1個(gè)
(1)AC阻抗測量 (C-V, C-f, C-t)
(2)測量參數(shù):CP-G, CP-D, CS-RS, CS-D, R-jX, Z-theta
(3)頻率范圍:1kHz ~ 10MHz
(4)源頻率精度:±0.1%
(5)信號(hào)輸出電平范圍：10 mVrms ~ 1Vrms
(6)分辨率:1mVrms
(7)輸出阻抗:100Ω
(8)DC 電壓偏置范圍:±30V(60V差分)
(9)DC 電壓偏置分辨率:1.0mV
(10)最大DC電流:10mA
(11)掃描參數(shù) ：DC偏置電壓, 頻率, AC電壓
(12)掃描類型: 線性, 自定義
(13)掃描方向:向上掃描, 向下掃描
(14)測量點(diǎn)數(shù): 4096
(15)輸出接口: 四個(gè)SMA接口(母頭)
5、IV/CV多通道開關(guān)模塊,1個(gè)
功能：實(shí)現(xiàn)DC I-V 和C-V模塊自動(dòng)切換.最多四條通道。
6、所響應(yīng)產(chǎn)品必須是全新、未使用過的原裝合格正品（包括零部件），如安裝或配置了軟件的，須為正版軟件
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